Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The present invention provides a conveyor for returning a front opening unified POD (hereinafter, called "FOUP"), the conveyor comprises: rails which are arranged to oppose each other; a plurality of guide rollers which oppose each other by being rotatively mounted along with the length direction of the rails, and transfer the FOUP in one direction; and pulley assemblies which face each other by being respectively mounted in each one section of the one pair of rails, and are rotated forward or backward by receiving the driving power, wherein an outer surface on the one side of the pulley assemblies and an outer surface on the one side of the guide rollers are arranged on the same line, and the plurality of rails are variably disposed in a row.
French[fr]
La présente invention concerne un système de transport permettant de retourner une nacelle unifiée à ouverture vers l'avant (ci-après une FOUP), qui comprend : des rails placés pour s'opposer l'un à l'autre ; une pluralité de galets de guidage qui s'opposent les uns aux autres du fait qu'ils sont montés rotatifs dans le sens de la longueur des rails et transfèrent la FOUP dans un sens ; et des ensembles poulie qui se font face mutuellement du fait qu'ils sont montés respectivement dans chaque section d'une paire de rails et qu'ils sont pivotés vers l'avant ou vers l'arrière par réception de la puissance d'entraînement, une surface extérieure sur un côté des ensembles poulie et une surface extérieure sur un côté des galets de guidage étant agencées sur la même ligne et la pluralité de rails étant disposée de façon variable dans une rangée.
Korean[ko]
본 발명의 FOUP 반송용 컨베이어는 상호 대향되게 배치되는 레일과, 상기 레일의 길이방향을 따라 회전 가능하게 장착되어 상호 대향하며 웨이퍼 캐리지(Front Opening Unified POD, 이하 'FOUP')를 일방향으로 이송시키는 복수의 가이드롤러와, 상기 한 쌍의 레일 일단부에 각각 장착되어 상호 대면하고 구동력을 전달받아 정, 역회전하는 풀리 어셈블리를 포함하며, 상기 풀리 어셈블리의 일측 외주면과 상기 가이드롤러의 일측 외주면은 같은 선상에 배치되고, 상기 레일은 복수의 것이 일렬로 가감 가능하게 배치된다.