Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
[Solution] In this vacuum processing apparatus, four process modules (PM1, PM2, PM3, PM4) and four load-lock modules (LML1, LML2, LMU1, LMU2) are arranged in clusters around a two-stage vacuum conveyance chamber (10).
French[fr]
La solution proposée consiste à un appareil de traitement sous vide qui comprend quatre modules de traitement (PM1, PM2, PM3, PM4) et quatre modules de sas de chargement (LML1, LML2, LMU1, LMU2) qui sont agencés en grappes autour d'une chambre de transport sous vide à deux étages (10).
Japanese[ja]
ここで、真空搬送室(10)の2階は全て第3の真空搬送エリア(TE3)になっており、開口部(13)を通って第3の真空搬送エリア(TE3)が2階から1階に下りて第1および第2の真空搬送エリア(TE1,TE2)の間に割り込んでいる。