Metadata
Author: cordis
Data
German[de]
Nach der Definition der Siliziumschicht durch Lithografie und Trockenätzen wurde eine Nassoxidation durchgeführt, um diese in zwei durch Siliziumoxid getrennte Leitungen zu teilen.
English[en]
After defining the silicon mesa by lithography and dry etching, wet oxidation was performed to separate it into two wires with silicon oxide in between.
Spanish[es]
Tras definir el mesa de silicio mediante litografía y grabado en seco, se realizó la oxidación húmeda para separarlo en dos alambres con óxido de silicio entremedias.
French[fr]
Une fois le mesa de silicium défini par lithographie et gravure sèche, une oxydation humide a été réalisée pour le séparer en deux câbles reliés par de l'oxyde de silicium.
Italian[it]
Dopo aver definito la mesa di silicio tramite litografia e attacco a secco, è stata effettuata un'ossidazione a umido per separarla in due cavi con l'ossido di silicio al centro.
Polish[pl]
Za pośrednictwem litografii oraz suchego trawienia zdefiniowano wysepkę krzemową, a następnie przeprowadzono mokre utlenianie w celu rozdzielenia jej na dwa przewody z tlenkiem krzemu umieszczonym pomiędzy nimi.