Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
At least part of the rinsing liquid used in the rinsing process is supplied to the tank for the polishing liquid containing abrasive grains.
French[fr]
Au moins une partie du liquide de rinçage utilisé dans le traitement de rinçage est acheminée au réservoir prévu pour le liquide de polissage contenant des grains abrasifs.
Japanese[ja]
この方法は、タンクに貯留された砥粒を含む研磨液を循環供給しながら研磨を行う通常研磨工程と、砥粒を含む研磨液の循環供給を停止し、砥粒を含まないリンス液を供給しながら前記研磨パッドとガラス板を相対移動させるリンス工程と、を含み、前記リンス工程に使用したリンス液のすくなくとも一部を、前記砥粒を含む研磨液の前記タンクへ供給する。