Metadata
Author: cordis
Data
German[de]
Die Integration von Aluminiumnitrid (AlN), einer in der Mikroelektronik weit verbreiteten Keramik, wurde auf zwei verschiedene Arten bewerkstelligt.
English[en]
Integration of aluminium nitride (AlN), a ceramic widely used in microelectronics, was accomplished in two different ways.
Spanish[es]
La integración de nitruro de aluminio (AlN), una cerámica de uso generalizado en microelectrónica, se logró de dos modos distintos.
French[fr]
Les chercheurs ont utilisé deux méthodes pour intégrer du nitrure d'aluminium (une céramique très utilisée en microélectronique).
Italian[it]
L’integrazione del nitruro di alluminio, una ceramica ampiamente utilizzata nella microelettronica, è stata ottenuta in due diversi modi.
Polish[pl]
Opracowano dwie różne metody integrowania azotku glinu (AlN) — materiału ceramicznego powszechnie używanego w mikroelektronice.