Metadata
Author: EurLex-2
Data
Bulgarian[bg]
В същия доклад е включен за пръв път азотен трифлуорид[22] ― вещество, все по-често използвано в електронната промишленост при процесите за плазмено ецване и почистване на камери като заместител на напълно флуорираните въглеводороди и серния хексафлуорид.
Czech[cs]
Stejná zpráva poprvé zmiňuje fluorid dusitý[22], látku, která se používá ve stále větší míře v elektronickém průmyslu pro procesy leptání plazmy a komorového čištění jako náhražka za zcela fluorované uhlovodíky a fluorid sírový.
Danish[da]
Den samme rapport identificerer for første gang nitrogentrifluorid[22], som er et stof, der anvendes stadigt oftere i elektronikindustrien ved processer til plasmaætsning og rengøring af kamre i stedet for perfluorcarboner og svovlhexafluorid.
German[de]
Im selben Bericht ist erstmals auch von Stickstofftrifluorid[22] die Rede; dieser Stoff wird bei der Plasmaätzung und der Kammerreinigung in der Elektronikindustrie zunehmend als Ersatz für perfluorierte Kohlenwasserstoffe und Schwefelhexafluorid eingesetzt.
Greek[el]
Η ίδια έκθεση εντοπίζει, για πρώτη φορά, το τριφθορίδιο του αζώτου[22], ουσία η οποία χρησιμοποιείται ολοένα και περισσότερο στην ηλεκτρονική βιομηχανία για εργασίες εγχάραξης με πλάσμα και καθαρισμού χώρων, ως υποκατάστατο των υπερφθορανθράκων και του εξαφθοριούχου θείου.
English[en]
The same report identifies, for the first time, nitrogen trifluoride [22], a substance which is increasingly used in the electronics industry for plasma etching and chamber cleaning processes as a substitute for perfluorocarbons and sulphur hexafluoride.
Spanish[es]
En ese mismo informe se incluye, por primera vez, el trifluoruro de nitrógeno[22], sustancia cada vez más utilizada en la industria de la electrónica para el grabado por plasma y en procesos de limpieza de cámaras, como sustitutivo de los perfluorocarburos y del hexafluoruro de azufre.
Estonian[et]
Samas aruandes identifitseeritakse esmakordselt lämmastiktrifluoriid,[22] aine, mida kasutatakse üha rohkem elektroonikatööstuses plasmasöövituse ja keemilise aurustus-sadestuse reaktoris puhastamise protsessides perfluorosüsivesinike ja väävelheksafluoriidi asendajana.
Finnish[fi]
Samassa raportissa mainitaan ensimmäistä kertaa myös typpitrifluoridi[22], jota elektroniikkateollisuus käyttää yhä enemmän plasmaetsaukseen ja kammioiden puhdistusprosesseihin perfluorihiilivetyjen ja rikkiheksafluoridin asemesta.
French[fr]
Ce même rapport répertorie pour la première fois le trifluorure d'azote[22], substance de plus en plus utilisée dans l'industrie électronique pour les systèmes de gravure par plasma et de nettoyage de chambres, comme un substitut des perfluorocarbones et de l'hexafluorure de soufre.
Hungarian[hu]
Ugyanez a jelentés határozza meg elsőként a nitrogén-trifluoridot[22], azt az anyagot, amelyet egyre elterjedtebben használnak az elektronikai iparban plazmamaratás és kamratisztító folyamatok során a perfluor-karbonok és a kén-hexafluorid helyettesítőjeként.
Italian[it]
La medesima relazione individua per la prima volta il trifluoruro di azoto[22], una sostanza sempre più utilizzata nell’industria elettronica per i processi di incisione e pulizia al plasma come sostituto dei perfluorocarburi e dell’esafluoruro di zolfo.
Lithuanian[lt]
Toje pačioje ataskaitoje pirmą kartą nurodytas azoto trifluoridas[22]; ši medžiaga vis dažniau naudojama elektronikos pramonėje plazminiam ėsdinimui ir kamerų valymo procesams (azoto trifluoridu pakeičiami perfluorangliavandeniliai ir sieros heksafluoridas).
Latvian[lv]
Tajā pašā ziņojumā pirmo reizi norādīts slāpekļa trifluors[22], viela, ko arvien vairāk izmanto kā perfluorogļūdeņražu un sēra heksafluorīda aizvietotāju elektronikas nozarē izkodināšanai ar plazmu un patrontelpas tīrīšanas procesā.
Maltese[mt]
L-istess rapport jidentifika, għall-ewwel darba, it-trifluworur tan-nitroġenu[22], sustanza li qed tintuża dejjem aktar fl-industrija tal-elettronika għal proċessi ta' inċiżjoni bi plażma u tindif ta' kompartimenti (chamber cleaning) bħala sostitut għall-perfluworokarburi u l-eżafluworur tal-kubrit.
Dutch[nl]
In hetzelfde verslag wordt stikstoftrifluoride[22], een stof die in toenemende mate wordt gebruikt in de elektronica-industrie voor processen voor plasma-etsing en proceskamerreiniging, voor het eerst aangewezen als een vervangmiddel voor perfluorkoolwaterstoffen en zwavelhexafluoride.
Polish[pl]
W tym samym sprawozdaniu po raz pierwszy wskazano, że trifluorek azotu[22], substancja coraz częściej stosowana w branży elektronicznej do trawienia plazmowego oraz procesów czyszczących komory, jest substytutem perfluorowęglowodorów i heksafluorku siarki.
Portuguese[pt]
O mesmo relatório indica, pela primeira vez, o trifluoreto de azoto[22], uma substância que é cada vez mais utilizada na indústria electrónica, em processos de contrastação do plasma e limpeza de câmara, como substituto dos perfluorocarbonetos e do hexafluoreto de enxofre.
Romanian[ro]
În același raport se identifică, pentru prima dată, trifluorura de azot[22], o substanță tot mai larg utilizată în industria echipamentelor electronice în procesul de fabricare a circuitelor integrate prin gravură cu plasmă și în cel de curățare a camerelor, ca înlocuitor al perfluorocarburilor și al hexafluorurii de sulf.
Slovak[sk]
V správe sa po prvýkrát uvádza aj fluorid dusitý[22]. Ide o látku, ktorá sa v elektronickom priemysle čoraz častejšie používa ako náhrada plnofluórovaných uhľovodíkov a fluoridu sírového pri procesoch plazmového leptania a čistenia komôr.
Slovenian[sl]
V istem poročilu je prvič opredeljen dušikov trifluorid[22], tj. snov, ki se kot nadomestek za perfluorirane ogljikovodike in žveplov heksafluorid vse pogosteje uporablja v elektronski industriji za postopke jedkanja s plazmo in čiščenja komor.
Swedish[sv]
I samma rapport identifieras, för första gången, kvävetrifluorid[22], ett ämne som allt oftare används inom elektronikbranschen vid plasmaetsning och kammarrengöring som ett substitut för perfluorkarboner och svavelhexafluorid.