Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The photosensitive resin composition is capable of forming a resist film which has good sensitivity and resolution and does not easily suffer from cracks, while being suppressed in the film thinning in unexposed portions.
French[fr]
La composition de résine photosensible est capable de former un film de réserve présentant une bonne sensibilité et une bonne résolution et n'est pas facilement affecté par des fissures, pendant la suppression lors de l'amincissement du film dans des parties non exposées.
Japanese[ja]
本発明によれば、クラックが発生しにくく、未露光部の膜減りが少なく、感度、解像性が良好なレジスト膜を形成できる感光性樹脂組成物、感光性ドライフィルムおよびこの感光性樹脂組成物を用いたパターン形成方法を提供することができる。