Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The control device cleans the porous member by repeatedly carrying out a first operation in which liquid is supplied to the first space and a second operation in which the supply of liquid to the first space is stopped so that there is essentially no liquid in the first space and the second space is set to a negative pressure.
French[fr]
Le dispositif de gestion assure le nettoyage de l'élément poreux en effectuant répétitivement une première opération où du liquide est acheminé au premier espace, et une deuxième opération où l'alimentation en liquide du premier espace cesse pour qu'il ne reste pratiquement plus de liquide dans le premier espace et où le deuxième espace est soumis à une pression négative.
Japanese[ja]
露光装置は、露光光の照射位置に配置される物体と対向可能な第1面及び第1面と逆向きの第2面を有し、第1面と物体との間に液体を保持可能な第1空間を形成する多孔部材と、第1空間に液体を供給可能な供給口と、第2面に面する第2空間を形成する所定部材と、第1空間の液体が、多孔部材の孔を介して、第2空間に移動するように、第2空間を減圧可能な調整装置と、供給口の液体供給動作及び調整装置の圧力調整動作を制御する制御装置とを備えている。 制御装置は、第1空間に液体を供給する第1動作と、第1空間の液体が実質的に無くなるように第1空間への液体の供給を停止して第2空間を負圧にする第2動作とを複数回実行して多孔部材をクリーニングする。