Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
In the disclosed device and method, compound lenses (202, 203, 204) are disposed—on the light axis of light that is incident to a measured object (105) and light towards a reference mirror (107)—of which the achromatic conditions, beam diameter conditions, and color difference reduction conditions of each are optimized using the focal distance and/or the Abbe number of a collimator lens; and by means of correcting the wavefront using these compound lenses (202, 203, 204), the effect of wavefront aberration is abated, and the resolution of shape measurement by means of optical interference is increased.
French[fr]
L'invention porte sur un dispositif et sur un procédé, dans lesquels des lentilles composites (202, 203, 204) sont disposées - sur l'axe de lumière d'une lumière qui est incidente à un objet mesuré (105) et d'une lumière vers un miroir de référence (107) - et dont les conditions achromatiques, les conditions de diamètre de faisceau, et les conditions de réduction de différence de couleur de chacune d'entre elles sont optimisées à l'aide de la distance focale et/ou du nombre d'Abbe d'une lentille de collimateur ; et, par la correction du front d'onde à l'aide de ces lentilles composites (202, 203, 204), l'effet d'une aberration de front d'onde est diminué, et la résolution de mesure de forme au moyen d'une interférence optique est accrue.
Japanese[ja]
被測定物(105)に入射する光と参照ミラー(107)への光の光軸上において、それぞれに色消し条件とビーム径条件と色差減条件とをコリメータレンズの焦点距離及び/又はアッベ数を用いて最適化した組レンズ(202、203、204)を配し、この組レンズ(202、203、204)を用いて波面を補正することにより、波面収差の影響を軽減し、光干渉による形状測定において解像度を上げる。