Metadata
Author: patents-wipo
Data
German[de]
Verfahren zur herstellung eines braggschen gitters in einer halbleiterschichtenfolge mittels ätzen und halbleiterbauelement
English[en]
Method for the production of a bragg lattice in a semiconductor layer sequence by etching and semiconductor element
French[fr]
Procede de fabrication d'un reseau de bragg dans une sequence de couches de semi-conducteur a l'aide de la gravure, et element semi-conducteur ainsi obtenu