Metadata
Author: EurLex-2
Data
German[de]
c) "speicherprogrammierbare" Ausrüstung zum anisotropen Trockenätzen im Plasma wie folgt:
English[en]
c. "Stored programme controlled" anisotropic plasma dry etching equipment, as follows:
French[fr]
c. équipements "à commande par programme enregistré" pour l'élimination par des méthodes sèches anisotropiques par plasma, comme suit:
Dutch[nl]
c. "met opgeslagen programma bestuurde" apparatuur voor het etsen door middel van anisotrope droge methoden (met plasma), als hieronder: