Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The mounting table (70) comprises an electrostatic chuck (50), a base (14), and a cylindrical sleeve (80).
French[fr]
La table de montage (70) comprend un mandrin électrostatique (50), une base (14), et un manchon cylindrique (80).
Japanese[ja]
載置台(70)は、静電チャック(50)、ベース(14)及び筒状のスリーブ(80)を備える。