Metadata
Author: ParaCrawl Corpus
Data
English[en]
Abstract: The goal of this Master's Thesis is to determine the mechanical strength of unconventional silicon-on-insulator structures and the thermal conductivity of their insulator layers.
Finnish[fi]
Tämän diplomityön tarkoitus on selvittää kokeellisten silicon-on-insulator rakenteiden mekaaninen kestävyys, sekä eristekerroksen lämmönjohtavuus.