Metadata
Author: cordis
Data
German[de]
Ein weiterer wichtiger Fortschritt betraf den Einsatz von plasmagestützter, chemischer Gasphasenabscheidung (plasma enhanced chemical vapour deposition, PECVD), um auf der Solarzelle eine sehr dünne Schicht aus Siliziumnitrid aufzutragen.
English[en]
Another important advance involved using plasma-enhanced chemical vapour deposition (PECVD) to deposit a very thin layer of silicon nitride on the PV cell.
Spanish[es]
Otro avance importante fue el uso de la deposición química en fase vapor asistida por plasma (PECVD) para depositar una capa muy fina de nitruro de silicio sobre la celda fotovoltaica.
French[fr]
Un autre progrès important impliquait l'utilisation de la déposition par vapeur chimique utilisant le procédé plasma (PEVCD) pour déposer une fine couche de nitrure de silicium sur la cellule PV.
Italian[it]
Un altro progresso importante prevedeva la deposizione chimica da fase vapore assistita da plasma (PECVD) per depositare uno strato sottilissimo di nitruro di silicio sulla cella FV.
Polish[pl]
Ważnym osiągnięciem było także wykorzystanie plazmowego osadzania chemicznego z fazy gazowej ('plasma-enhanced chemical vapour deposition' - PECVD) do tworzenia bardzo cienkiej warstwy azotku krzemu na ogniwie fotowoltaicznym.