Metadata
Author: patents-wipo
Data
German[de]
Zunächst wird auf dem Substrat (1) ganzflächig durch Aufschleudern eine Lackschicht (4) aus Photolack mit definierter Dicke aufgetragen.
English[en]
First, a coating of photosensitive lacquer (4) of a defined thickness is applied to the entire surface of the substrate (1) using spin-on deposition.
French[fr]
Une couche de vernis photosensible (4) présentant une épaisseur définie est tout d'abord appliquée par projection sur l'ensemble de la surface du substrat (1).