Metadata
Author: scielo-abstract
Data
English[en]
Furthermore, depth profiles of the TiN/TiC bilayers showed that the films grown at a substrate temperature of 150o C had a thicker TiN layer than the samples grown at 50o C.
Spanish[es]
Además, los perfiles de profundidad de las bicapas de TiN/TiC mostraron que las películas crecidas a una temperatura de 150 ° C tienen una capa de TiN más gruesa que las muestras crecidas a 50o C.