Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The production method for a polysilicon mask using a metal catalyst according to the present invention comprises the steps of: supplying a base plate (10); forming an amorphous silicon layer (30) having a predetermined pattern on the base plate (10); forming a metal catalyst layer (40) on the amorphous silicon layer (30); and forming a polysilicon mask (31) by subjecting the amorphous silicon layer (30) to a heat treatment.
French[fr]
Le procédé de fabrication d'un masque en polysilicium au moyen d'un catalyseur métallique selon l'invention comprend les étapes consistant à : utiliser une plaque de base (10); former une couche de silicium amorphe (30) présentant un motif prédéterminé sur la plaque de base (10); former une couche de catalyseur métallique (40) sur la couche de silicium amorphe (30); et former un masque en polysilicium (31) par traitement thermique de la couche de silicium amorphe (30).
Korean[ko]
본 발명에 따른 금속 촉매를 이용한 폴리 실리콘 마스크의 제조방법은, 기판(10)을 제공하는 단계; 기판(10) 상에 소정의 패턴을 갖는 비정질 실리콘층(30)을 형성하는 단계; 비정질 실리콘층(30) 상에 금속 촉매층(40)을 형성하는 단계; 및 비정질 실리콘층(30)을 열처리하여 폴리 실리콘 마스크(31)를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.