Metadata
Author: UN-2
Data
English[en]
"Stored programme controlled" anisotropic plasma dry etching equipment, as follows:
Spanish[es]
Equipos “controlados por programa almacenado” para grabado, en seco por plasma anisotrópico, según se indica:
French[fr]
Équipements « à commande par programme enregistré » pour l’élimination par des méthodes sèches anisotropiques par plasma, comme suit :
Russian[ru]
Установки сухого травления анизотропной плазмой, «управляемые встроенной программой»: