Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The present invention provides a mask for vapor deposition, which can suppress occurrences of ghosting while maintaining precision of the film forming pattern, a vapor deposition device, a vapor deposition method, and a method for manufacturing an organic electroluminescent device.
French[fr]
La présente invention concerne un masque de dépôt en phase vapeur permettant de supprimer l'apparition d'images fantômes tout en conservant la précision du motif de formation de film, un dispositif et un procédé de dépôt en phase vapeur ainsi qu'un procédé de fabrication d'un dispositif électroluminescent organique.
Japanese[ja]
本発明は、外枠部と、前記外枠部の内側に設けられ、前記外枠部に固定された第一の桟部と、前記外枠部、及び、前記第一の桟部上に設けられ、前記外枠部に固定されたパターン形成部とを備え、前記パターン形成部には、パターン形成用の複数のマスク開口が設けられ、前記複数のマスク開口の各々は、第一の方向に沿って設けられ、前記複数のマスク開口は、前記第一の方向に直交する第二の方向に配置され、前記第一の桟部は、前記第一の方向、及び、前記第二の方向に直交する第三の方向に沿って見たときに前記複数のマスク開口のうちの隣り合う2つのマスク開口の間に位置し、かつ、前記パターン形成部に接触する蒸着装置用マスクである。