Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Then, the element isolating section (SS) is formed at the periphery of the active region via the guard ring, and the terrace insulating film (SL) and the element isolating section (SS) are separated from each other without being connected to each other.
French[fr]
Par ailleurs, la section d'isolation d'élément (SS) est formée sur la périphérie de la zone active via la grille de protection, et la couche d'isolation de terrasse (SL) ainsi que la section d'isolation d'élément (SS) sont séparées l'une de l'autre sans être reliées l'une à l'autre.
Japanese[ja]
そして、このガードリングを介して、活性領域の周辺に素子分離部(SS)を形成し、テラス絶縁膜(SL)と素子分離部(SS)とを繋がずに、両者を分離する。