Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The present invention relates to a method for manufacturing a gas chromatography chip through multi-etching and a method for manufacturing a chip laminate and, more specifically, to a gas chromatography chip obtained through multi-etching and a method for manufacturing a gas chromatography chip laminate by laminating the gas chromatography chip.
French[fr]
La présente invention concerne un procédé de fabrication de puces pour chromatographie en phase gazeuse au moyen de gravures multiples et un procédé de fabrication de stratifié de puce, et plus précisément, une puce pour chromatographie en phase gazeuse obtenue au moyen de gravures multiples et un procédé de fabrication de stratifié de puce pour chromatographie en phase gazeuse au moyen de stratification de la puce pour chromatographie en phase gazeuse.
Korean[ko]
본 발명은 다중 에칭을 통한 가스 크로마토그래피 칩의 제조 방법, 및 이 칩 적층체의 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 다중 에칭을 통해 얻은 가스 크로마토그래피 칩, 및 상기 가스 크로마토그래피 칩을 적층한 가스 크로마토그래피 칩 적층체의 제조 방법을 제공한다.