Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The plurality of rotating holders are divided into a plurality of groups and electrical power is provided to the rotating holders so as to make the electric potential different for each group.
French[fr]
La pluralité de supports rotatifs est divisée en une pluralité de groupes et une alimentation électrique est fournie aux supports rotatifs de manière à rendre le potentiel électrique différent pour chaque groupe.
Japanese[ja]
本発明の真空成膜装置は、基材に皮膜を形成する真空成膜装置であって、真空チャンバと、前記真空チャンバ内を真空排気する真空排気手段と、自転した状態で成膜対象である前記基材を保持する複数の自転保持部と、前記複数の自転保持部を各自転保持部の回転軸と平行な公転軸周りに公転させる公転機構と、を備え、前記複数の自転保持部は複数の群に分けられ、群毎に異なる電位となるように電力が各自転保持部に供給される。