Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The buffer layer comprises a plurality of stepped regions and one or more heterogeneous regions.
French[fr]
La couche tampon comprend une pluralité de régions étagées et une ou plusieurs régions hétérogènes.
Korean[ko]
반도체 기판은 기판 상에 배치된 시드층과, 시드층 상에 배치된 버퍼층과, 버퍼층 상에 배치된 다수의 질화물 반도체층과, 다수의 질화물 반도체층 사이에 적어도 하나의 응력 제어층을 포함한다.