Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
[Problem] To provide a resist underlayer film-forming composition which has high storage stability by being suppressed in aging and reduces the amount of a sublimate produced from a resist underlayer film during a firing process.
French[fr]
L'invention a pour but de proposer une composition de formation de film de sous-couche de réserve qui présente une stabilité de stockage élevée par suppression du vieillissement et qui réduit la quantité d'un produit sublimé produit à partir d'un film de sous-couche de réserve pendant un procédé de cuisson.
Japanese[ja]
【課題】 焼成工程においてレジスト下層膜中から発生する昇華物量を低減し、且つエイジングを抑制することで高い保存安定性を有するためのレジスト下層膜形成組成物を提供する。