Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Therefore, it is possible to implement the high performance of a future nano-device such as a nano electronic device, an optical device, a bio-device, an energy device, and the like.
French[fr]
Par conséquent, il est possible de mettre à profit les performances élevées d'un futur nanodispositif, tel qu'un dispositif nanoélectronique, un dispositif optique, un biodispositif, un dispositif énergétique, et autres.
Korean[ko]
본 발명에 따른 3차원 나노구조체의 제조방법은 물리적 이온 식각을 통한 이온 봄바드먼트 현상을 적용하여 제조됨으로써 간단한 공정과 저렴한 비용으로 높은 종횡비와 균일성을 가지는 3차원 나노구조체를 제조할 수 있고, 고분자 구조체의 패턴 및 형상을 조절함으로써 다양한 형상의 구조체 제조가 용이한 동시에 대면적으로 두께가 10nm 이하인 균일한 미세 나노구조를 형성할 수 있어 나노전자소자, 광학소자, 바이오소자, 에너지소자 등과 같은 미래의 나노소자의 높은 성능을 구현할 수 있는 효과가 있다.