Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The slurry (30) is transferred to the surface of the wafer (20) in the rinsing step.
French[fr]
La bouillie (30) est transférée à la surface de la plaquette (20) lors de l'étape de rinçage.
Chinese[zh]
其中,在冲洗步骤中还向晶圆(20)的表面输送浆料(30)。