Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Variable slit device, illuminating device, exposure device, exposure method, and method of manufacturing device
French[fr]
Dispositif à fente variable, dispositif d'éclairage, dispositif d'exposition, procédé d'exposition et de fabrication du dispositif
Japanese[ja]
可変スリット装置、照明装置、露光装置、露光方法及びデバイス製造方法