Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Charged particle beam device having a function cancelling mode and a function expanding mode
French[fr]
Dispositif à faisceau de particules chargées ayant un mode d'annulation de fonction et un mode d'extension de fonction
Japanese[ja]
機能解除モードと機能拡張モードを有する荷電粒子線装置