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Besonderhede van voorbeeld: 7688941062233433513
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Metadata
Author:
patents-wipo
Data
English
[en]
Multipole and charged particle beam apparatus using same
French
[fr]
Multipôle et appareil à faisceau de particules chargées qui utilise ce dernier
Japanese
[ja]
多極子およびそれを用いた荷電粒子線装置
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