Metadata
Author: cordis
Data
German[de]
Die U-förmigen Biegebalken mit einer Dicke im Submikronbereich können einen elektrischen Spannungsausgang, der proportional zu der unterschiedlichen Durchbiegung zwischen den Biegebalken ist, liefern.
English[en]
The U-shaped cantilevers of a sub-micron thickness can provide an electrical voltage output proportional to the differential deflection between cantilevers.
Spanish[es]
Los cantilever con forma de U con un grosor de un submicrón pueden generar un voltaje eléctrico proporcional a la desviación diferencial entre los cantilever.
French[fr]
Les cantilevers en forme de U d'une épaisseur submicronique peuvent fournir une tension électrique de sortie proportionnelle à la déflection différentielle entre les cantilevers.
Italian[it]
I cantilever a U, dello spessore di un sub-micron, possono fornire un'uscita di tensione elettrica proporzionale alla deflessione differenziale tra cantilever.