Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
As most processes are carried out by semiconductor processing equipment, mass-production is possible and superior heat characteristics compared with conventional PCB substrates are attained.
French[fr]
Comme la plupart des procédés sont mis en oeuvre au moyen d'un matériel de traitement de semiconducteurs, une production en série peut être réalisée et des caractéristiques thermiques supérieures à celles des substrats de PCB classiques sont obtenues.
Korean[ko]
본 발명은 광배선 구조물 및 그 제조방법에 관한 것으로, 상면에 곡률반경을 갖도록 적어도 하나의 렌즈 형성용 홈이 구비된 실리콘 기판; 및 상기 렌즈 형성용 홈의 형상이 유지되도록 상기 렌즈 형성용 홈을 포함한 실리콘 기판 상에 형성된 실리카층을 포함함으로써, 대부분의 공정이 반도체 공정 장비를 통해 수행되어 대량 생산이 가능하며, 기존 PCB 기판에 비해 좋은 열특성을 갖는 효과가 있다.