Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Provided is an evaluation device that can conveniently measure and predict/estimate the mobility and stress resistance of an oxide semiconductor thin film by means of a single, non-contact-type and accurate device.
French[fr]
L'invention concerne un dispositif d'évaluation qui permet commodément de mesurer et prédire/estimer la mobilité et la résistance aux contraintes d'un film fin semi-conducteur oxyde à l'aide d'un dispositif unique, de type sans contact et précis.
Japanese[ja]
酸化物半導体薄膜の移動度とストレス耐性を、非接触型で、正確且つ同一の装置で簡便に測定し、予測・推定できる評価装置を提供する。