Metadata
Author: patents-wipo
Data
German[de]
Vorrichtung und verwendung der vorrichtung zur messung der dichte und/oder der elektronentemperatur und/oder der stossfrequenz eines plasmas
English[en]
Device and use of the device for measuring the density and/or the electron temperature and/or the collision frequency of a plasma
French[fr]
Dispositif permettant de mesurer la densité et/ou la température électronique et/ou la fréquence de collision d'un plasma et utilisation dudit dispositif