Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
A constant thermal environment may be provided to the silicon melt solution accommodated in the crucible by the upper heaters which are individually controllable.
French[fr]
Un environnement thermique constant peut être fourni à la solution de masse fondue de silicium contenue dans le creuset par les dispositifs de chauffage supérieurs qui sont individuellement réglables.
Korean[ko]
본발명의 단결정 성장장치는, 실리콘 융액이 수용된 도가니를 포함하는 챔버, 상기 도가니를 지지하면서, 상기 도가니를 회전 및 승강시키는 지지축, 상기 도가니의 측방향에 마련되어, 상기 도가니 측으로 열을 가하기 위한 메인 히터부, 상기 도가니 상측에 위치하는 상부 열차폐제 및 상기 상부 열차폐제 하단부에 위치하는 상부 히터부를 포함하고, 상기 상부 히터부는 상기 도가니의 중심을 기준으로 서로 상이한 직경을 가지며, 소정의 간격으로 이격된 복수개의 링 형상의 히터로 구성되는 것을 특징으로 한다.