Metadata
Author: cordis
Data
German[de]
Durch Nutzung neuer Nanolithografiemethoden wurde innovative Technologie auf Grundlage eines Arrays aus Siliziumcantilevern in Nanometergröße geschaffen.
English[en]
By exploiting novel nanolithography methods, innovative technology was generated on the basis of an array of silicon cantilevers on the nanometre scale.
Spanish[es]
Valiéndose de métodos novedosos de nanolitografía se creó una tecnología innovadora que se fundamenta en una serie de palancas de silicio de escala nanométrica.
French[fr]
Exploitant de nouvelles méthodes de nanolithographie, une technologie innovante a été mise au point sur la base d'un ensemble de cantilevers au silicium à l'échelle nanométrique.
Italian[it]
Sfruttando nuovi metodi di nanolitografia, è stata creata una tecnologia innovativa basata su una matrice di cantilever in silicio a scala nanometrica.
Polish[pl]
Zastosowano nowatorskie metody nanolitografii, tworząc innowacyjną technologię opartą na macierzy krzemowych wsporników w skali nanometrycznej.