Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
More particularly, the present invention relates to an imprint device, which can uniformly form a nano-pattern on an object to be printed, and a method for imprinting using same.
French[fr]
Plus particulièrement, la présente invention concerne un dispositif d'impression, qui peut former de façon uniforme un nanomotif sur un objet à traiter, et un procédé pour l'impression qui l'utilise.
Korean[ko]
본 발명의 일실시예에 따른 임프린트 장치는 피처리체를 안착시켜 위치 이동시키는 지지 유닛과, 패턴이 일면에 형성되는 스탬프를 진공 흡착하여 지지하고, 상기 스탬프의 일면이 상기 피처리체에 균일하게 눌리도록 상기 스탬프의 타면에 가스를 분사하여 밀어주는 템플레이트 유닛을 포함한다.