Metadata
Author: cordis
Data
German[de]
Nanolithografie wird verwendet, um die nanomechanische Struktur auf den bereits fertiggestellten CMOS-Schaltkreis aufzubringen.
English[en]
Nanolithography is used to place the nanomechanical structure on the already completed CMOS circuit.
Spanish[es]
Se utiliza la nanolitografía para colocar la estructura nanomecánica en el circuito CMOS una vez se ha completado.
French[fr]
La technique de nanolithographie est utilisée pour placer la structure nanomécanique sur le circuit CMOS déjà préparé.
Italian[it]
Per collocare la struttura nanometrica nel circuito CMOS già completo viene impiegata la nanolitografia.
Polish[pl]
Do umieszczenia struktury nanomechanicznej na już gotowym układzie CMOS używana jest nanolitografia.