Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Charged particle beam device, sample observation method for charged particle beam device, and display control program for charged particle beam device
French[fr]
Dispositif à faisceau de particules chargées, procédé d’observation d’échantillon pour un dispositif à faisceau de particules chargées, et programme de commande d’affichage pour un dispositif à faisceau de particules chargées
Japanese[ja]
荷電粒子線装置、荷電粒子線装置の試料観察方法および荷電粒子線装置の表示制御プログラム