Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Furthermore, elements such as Si, Mg, and the like, which are solid elements required for doping are sprayed onto the substrate from a source which generates solid elements for doping together with the neutral particle beam to achieve high doping efficiency at a lower temperature.
French[fr]
De plus, des éléments tels que Si, Mg, et analogues, qui sont des éléments solides requis pour le dopage, sont pulvérisés sur le substrat à partir d'une source qui génère des éléments solides pour le dopage avec le faisceau de particules neutres afin d'obtenir un rendement de dopage élevé à une température plus basse.
Korean[ko]
더불어, 도핑에 필요한 고체원소인 Si, Mg등의 원소도 도핑용 고체원소 발생원을 중성 입자빔과 함께 기판으로 분사하여 도핑을 낮은 온도에서 높은 도핑 효율로 도핑을 수행할 수 있다. 본 발명에 따르면, 기판 온도의 저온화로 기판과 박막의 열화 방지 및 도핑 원소의 원하지 않는 확산을 방지하여 우수한 발광 특성을 갖는 반도체 발광 소자를 비교적 간편하게 제작할 수 있다.