Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The negative stiffness system comprises at least three groups of quasi-zero stiffness units.
French[fr]
Le système de raideur négative comprend au moins trois groupes d'unités de raideur quasi-nulle.
Chinese[zh]
一种用于微动台重力补偿的负刚度系统,主要用于光刻机承片台微动台系统中。 负刚度系统包括至少三组准-零刚度单元。