Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
However, it has been difficult to pattern a minute pattern on a large substrate and to pattern onto a transfer substrate having surface bumpiness.
French[fr]
Il s'est cependant avéré difficile de dessiner un motif très petit sur un grand substrat et de dessiner sur un substrat de transfert qui présente des aspérités en surface.
Japanese[ja]
そこで,X線等の電磁波を利用し,機能性有機分子薄膜に大型基板に微細パターンをパターンニングする技術を提供する。