Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Particularly, the present invention relates to a rare earth metal oxide coating film formed on a porous ceramic film of a substrate, wherein the porous ceramic film has an average surface roughness of 0.4 to 2.3 m.
French[fr]
La présente invention concerne notamment un film de revêtement d'oxyde de métal de terres rares formé sur un film céramique poreux d'un substrat, le film céramique poreux ayant une rugosité de surface moyenne de 0,4 à 2,3 m.
Korean[ko]
본 발명에 따른 다공성 세라믹 표면을 밀봉하는 치밀한 희토류 금속 산화물 코팅막 및 이의 제조방법은 충분한 두께의 다공성 세라믹 코팅층에 의해 내전압 특성 확보 및 치밀한 희토류 금속 산화물 코팅막에 의한 플라즈마 내식성 확보가 동시에 이루어질 수 있는 효과가 있어, 반도체 식각장비를 포함하는 다양한 반도체 장비용 부품에 적용될 수 있다.