Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Composition for formation of resist protection film, and method for formation of resist pattern using the same
French[fr]
Composition pour la formation d'un film de protection de réserve et procédé de formation de motif de réserve à l'aide de ladite composition
Japanese[ja]
レジスト保護膜形成用組成物及びこれを用いたレジストパターンの形成方法