Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Charged-particle microscope device and method for inspecting sample using same
French[fr]
Microscope à particules chargées et procédé d'inspection d'un échantillon utilisant celui-ci
Japanese[ja]
荷電粒子顕微鏡装置及びこれを用いた試料の検査方法