Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The outer circumferential end of the spiral electrode (21) is electrically connected to a wiring electrode (31).
French[fr]
L'extrémité circonférentielle externe de l'électrode en forme de spirale (21) est connectée électriquement à une électrode de câblage (31).
Japanese[ja]
Si基板(20)の表層である絶縁層(20B)におけるスパイラル電極(21)の内周端に対応する領域には、コンタクトホール(40A)が形成されている。