Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The apparatus is provided, in the optical path of the optical system, with a means for detecting the intensity and the convergent state of an illuminating light, and a means for detecting the abnormality of the optical system and for saving the abnormal portion from the alignment with an optical axis.
French[fr]
L’appareil comprend dans le chemin optique du système optique un moyenne permettant de détecter l’intensité et l’état convergent d’une lumière d’éclairage, et un moyen permettant de détecter l’anormalité du système optique et d’écarter la partie anormale de l’alignement avec un axe optique.
Japanese[ja]
半導体デバイス等の製造工程中に発生する微小な異物やパターン欠陥を高解像検出するための深紫外光を光源とする装置において、短波長化による光学系へのダメージを検知して、ダメージ部分を退避する手段と、光学系配置の異常を製造時と比較検知して補正する手段とを備え、被検査対象基板上の欠陥を高速・高感度で安定検査できる装置および方法を提供すること。