Metadata
Author: cordis
Data
German[de]
MEMS-Bauelemente, zu deren Herstellung Verfahren der Mikrofabrikationstechnologie angewandt werden, sind mechanische Bauelemente, Sensoren, Aktoren und Elektronikbaugruppen auf einem gemeinsamen Substrat integriert.
English[en]
Exploiting the microfabrication technology MEMS integrate mechanical elements, sensors, actuators, and electronics on a common substrate.
Spanish[es]
Aprovechando la tecnología de microfabricación, los dispositivos MEMS integran, en un mismo substrato, elementos mecánicos, sensores, actuadores y demás componentes electrónicos.
French[fr]
Les MEMS exploitent la technologie de la microfabrication pour intégrer des éléments mécaniques, des capteurs, des actionneurs et des composants électroniques sur un substrat commun.
Italian[it]
Basati sulla tecnologia di microfabbricazione, i sistemi MEMS sono in grado di integrare elementi meccanici, sensori, attuatori e componenti elettronici in un unico substrato.