Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Here, the compensation unit has the same electrical properties as the cantilever device, and can use the inactive cantilever device that does not have mechanical properties.
French[fr]
L'unité de compensation présente les mêmes propriétés électriques que le dispositif cantilever et peut utiliser le dispositif cantilever inactif qui n'est pas doté de propriétés mécaniques.
Korean[ko]
이때, 보정부로는 캔틸레버 소자와 전기적 특성은 동일하나 기계적 특성은 가지지 않는 비활성 캔틸레버 소자를 사용할 수 있다.