Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Titanium-nickel alloy thin film, and preparation method of titanium-nickel alloy thin film using multiple sputtering method
French[fr]
Film mince d'alliage de titane-nickel et procédé de préparation d'un film mince d'alliage de titane-nickel à l'aide d'un procédé de pulvérisation cathodique multiple
Korean[ko]
타이타늄-니켈 합금박막 및 다중 스퍼터링법을 이용한 타이타늄-니켈 합금박막의 제조 방법