Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
A discharge ionization current detector (10) is configured primarily by a plasma generating unit (20) and an ion collecting unit (30).
French[fr]
Un détecteur de courant d'ionisation de décharge (10) est premièrement configuré de l'unité de génération de plasma (20) et d'une unité de collecte d'ions (30).
Japanese[ja]
イオン収集部30には、イオン収集用電極31とバイアス用電極32を配置し、さらに、イオン収集用電極31とバイアス用電極32の間に、純度が99.5%以上の酸化アルミニウム又はサファイアから成る絶縁部材を配置する。